华星光电

行业介绍：
半导体、TFT-LCD及其相关产业之制程废气，一般而言，大都具有大风量 (风量＞10,000CMH以上)及低浓度(浓度＜500ppm as CH4)的特性，且废气的组成中常含有沸点高、低差异大的化学品，例如，IPA , Acetone , MEA , DMSO , PGME , PGMEA, 三甲基苯 , NMP等，造成处理的难度增加。由于废气的风量相当大且浓度不高，直接以焚化的方法处理，其操作成本相当高。IPA及Acetone之沸点极低，采洗涤法时，溶于水中之溶剂反而有被气提出来的可能，并不适用。此外，有些制程常伴有HMDS，在高温时，易分解而造成处理效率下降或设备故障。因此，目前较常用的处理技术以(浓缩＋焚化)或(浓缩＋冷凝)两种方法最经济有效，其中浓缩设备则仅有沸石转轮浓缩及流体化床浓缩两种机组被印证为可行，其它如固定床、纤维碳床等均因工安问题(因处理溶剂大都为含有氧的化合物，例如：IPA , Acetone…等，易造成碳床着火的困扰，或因再生需求频繁，又无法线上再生，不但作业上不便，且不易符合目前环保法规的规定)而较为少用。至于何方法较佳，则完全视使用单位之排气特性及可提供之公用设施(Utility)而定。